Πίσωθι της εφαρμογής
Η διαδικασία ξηρής χαρακτικής υιοθετείται ευρέως στην κατασκευή τσιπ. Η πλακέτα πυριτίου τοποθετείται ως το θετικό ηλεκτρόδιο στο κάτω μέρος του θαλάμου χαρακτικής.Η πλάκα διανομής αερίου με πυκνά μικροσκοπικά τρύπιαΜε την κατάλληλη τάση που εφαρμόζεται και το όξινο αέριο χαρακτικής πλάσματος που εισάγεται,Η μικροεπεξεργασία πραγματοποιείται στο πλακάκι πυριτίου μέσα στον θάλαμο υψηλής θερμοκρασίας σύμφωνα με μοτίβα κυκλωμάτων που καθορίζονται με λιθογραφία., έτσι ώστε να χαραχθεί η επιφάνεια της πλακέτας στο σχεδιασμένο πλάτος και βάθος γραμμής και να σχηματιστούν μικροενσωματωμένα κυκλώματα.
Τα άνω και κάτω ηλεκτρόδια βρίσκονται σε άμεση επαφή με το πλάσμα.Τα ηλεκτρόδια υφίστανται σταδιακή φυσική και χημική διάβρωση από το αέριο χαρακτικήςΌταν φθάνουν σε ένα ορισμένο επίπεδο, τα ηλεκτρόδια πρέπει να αντικαθίστανται για να εξασφαλίζεται ομοιόμορφη χαραγή. The evenly‑distributed holes on the upper electrode (shower head / gas distribution plate) will deviate in dimension due to etching‑gas corrosion and need replacement when tolerance limits are exceeded.

Ανάλυση της λύσης
🔹 Οι δοκιμές με φ0,45 mm PCD μικροτρυπάνιση μονοκρυσταλλικού πυριτίου δείχνουν ελάχιστη θραύση στην άκρη της τρύπας.ακρίβεια διαστάσεων εντός ±00,003 mm, και τραχύτητα επιφάνειας ≤Ra0,2 μm, σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών.
🔹 Στις προκαταρκτικές δοκιμές, το τρυπάνι παρουσιάζει μικρή φθορά των άκρων μετά την επεξεργασία 3500 τρυπών και παραμένει χρήσιμο.
🔹 Οι μικροτρυπές Worldia PCD χωρίζονται σε τέσσερις σειρές (WZ1, WZ2, WZ3 και WZ-X) σύμφωνα με τα επεξεργασμένα υλικά και τα σενάρια εφαρμογής, με διάμετρο φ0,1-φ1,0 mm.Τα τρυπεία στερεών PCD υιοθετούν αυτοκεντρικό σχεδιασμό, που υποστηρίζει μέγιστη αναλογία βάθους προς διάμετρο έως και 57:1Τα φλάουτα τσιπ κατασκευάζονται με ολοκληρωμένη άλεση για ομαλή εκκένωση τσιπ.Η άκρη του τρυπάνι PCD παρέχει εξαιρετική αντοχή στην φθοράΤα προϊόντα αυτά ικανοποιούν τις απαιτήσεις επεξεργασίας μικροτρυπών για μονοκρυσταλλικό πυρίτιο, πολυκρυσταλλικό πυρίτιο, SiC, κεραμικά,Άλλα υλικά για τη βιομηχανία ημιαγωγών.

Πηγή δεδομένων: Έκθεση δοκιμής εργαλείων του Τμήματος Τεχνολογίας Εργαλείων Ακριβούς Τεχνολογίας της Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

Για περισσότερες πληροφορίες επισκεφθείτε:

📌www.worldia-tools.com

Η να στείλετε ερωτήσεις στο: info@worldia-tools.com